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最低5nm工艺河南研究院成功研发半导体装备利器（河南半导体项目）

据半导体行业观察报道，日前位于河南郑州的中国长城旗下的郑州轨道交通信息技术研究院成功研发了支持超薄晶圆全切工艺的全自动12...